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2021-05-06
2021-04-19
2021-04-12
四百年前,顯微鏡誕生,微觀世界從此清晰地呈現在人們眼中,掙脫了200微米的肉眼可見禁錮。然而傳統光學顯微鏡通過目鏡和物鏡,兩次局部放大目標物體,進行觀察或者成像芯片記錄。觀察視角被光學放大區限制,陷入一種放大倍數越大干式恒溫儀,觀察視角越小的死循環中。 圖像傳感器吹響傳統顯微鏡革命號角。圖像傳感器將光學圖像轉換為電子信號,廣泛地應用在數碼相機和其他電子光學設備中。CMOS圖像傳感器(CIS)作為市場主流,采用CMOS工藝,工藝成本較低,具有高幀頻、高動態范圍、低噪聲等優勢。另外,CIS的陣列架構為每個像素獨立,各像素單元之間無相互影響,工作速度快、成品率較高。 但因為CIS的單元像素由一個二極管和三、四個晶體管組成,像素尺寸縮小,信噪比無法滿足成像需求,圖像傳感器技術無法化解信噪比和像素尺寸間的矛盾。對于投影顯微成像來說,分辨率直接受限于成像芯片的像素尺寸,視野則受限于芯片的像素規模。因此,解決芯片器件的尺寸、像素不能同部提升的問題是首要目標。 研究團隊從結構設計,像素串擾、保持信噪比等入手,研發出垂直電荷轉移成像器件(VPS),垂直堆疊CIS器件中形成像素的5大功能模塊,形成一個整體!拔搴弦弧钡南袼亟Y構干式恒溫儀,大大節省了器件空間,芯片中可以集成更多器件。此外,VPS器件并不會像主流的互補金屬氧化物半導體(CMOS)圖像傳感器一樣因為像素縮小而導致成像質量急劇下降,而是為像素和質量的上雙保險。